УЧЕНЫЕ ЗАПИСКИ: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ. 1967 г. ВЫП.1
№№ Температурная зависимость коэффициента диффузии кремния Т а б л и ц а 2 Темпера тура диф фузной, отжига, °С Время диффу- зион. отжига, ч Глубина диффу зной, слоя см- IG3 Коэффици ент диффу зии D, см2.сек Энер гия акти вации, Q кал Do. см 2 сек S, кал г-атом < а) Из сплава F e+ S i в железо 1. 1050 92 6,7 6.10-п 2. 1140 30 8,8 1,8.10-ю 3. 1150 60 13,0 2,0.10-ю 49000 6,4.10-3 4. 1280 12 12,0 О О 1 <о б) Из в сплава F e+C r-f Mn+Ti + Mo-f Si сплав Fe-|-C r-fM n+Ti+M o 1. 1050 92 4,0 1,2.10-п 2. 1140 30 5,0 5,7.10-” 3. 1150 60 9,0 9,4.10-П 61000 0,15 4. 1290 50 20,0 5,6.10-Ю 98
Made with FlippingBook
RkJQdWJsaXNoZXIy ODQ5NTQ=